淄博高新技术产业开发区6英寸MEMS碳化硅项目

建设单位:博高新技术产业开发区

项目地点:山东淄博市

服务内容:方案设计、施工图设计、工程咨询

项目投资:22亿元

建设规模:总用地面积76亩;总建筑面积55000㎡;洁净室面积11250㎡

建设周期:2020.01-2020.03

项目产品:6英寸碳化硅项目

项目产能:15K片/月